主要功能

1、材料的高分辨形貌分析

2、镀层表面形貌分析和深度检测

3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究

4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式

5、材料的晶体结构、晶体取向分布分析等

6、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能

7、配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品

技术参数

1、 电子枪：冷阴极场发射电子源

2、 放大倍率：20~2000倍（低倍模式），100~800000倍（高倍模式）

3、 加速电压：0.1~ 30kv （0.1kv/步，可变）

4、 二次电子分辨率：1.0nm（15kv），1.3nm（1kv，减速模式），2.0nm（1kv，普通模式）

5、 样品台 x:0~50mm y: 0~50mm z:1.5~30mm t: -5~ 70° r:360°

6、 最大样品容纳尺寸：100mm

7、 能谱仪：有效晶体活区面积：10mm²；分辨率优于128ev；检测元素范围：b(4)-u(92)

8、 镀金机：镀pt系统；能容纳样品尺寸φ60*20（mm）